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冷凝結(jié)晶切片機(jī)切削液流量不能過(guò)大
飛片現(xiàn)象就是指在晶片切割過(guò)程中,會(huì)泛起飛片的現(xiàn)象。這種現(xiàn)象在切薄片和晶片切割結(jié)束到石墨托板處時(shí)容易發(fā)生。這是因?yàn)榈镀瑢?duì)晶片的摩擦力過(guò)大而使石墨托板承受不住,造成品片被刀片帶走的現(xiàn)象。從上面的分析可知,分條機(jī)刀片的刀片與晶片之間有切削液,刀片對(duì)晶片有摩擦力的作用,摩擦力的大小與切割面積和切削液流量成正比,所以采用減小切削液流量的辦法可以解決飛片現(xiàn)象。
從實(shí)際操縱中我們發(fā)現(xiàn),當(dāng)切割晶片的出刀口處有切削液滴下時(shí),也會(huì)很輕易泛起飛片的現(xiàn)象,這是因?yàn)榍邢饕毫髁窟^(guò)大,而使摩擦力增加,造成飛片的現(xiàn)象。因此,切削液流量不宜過(guò)大,能夠知足切割時(shí)刃口處的冷卻和潤(rùn)滑的流量就行。
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